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捷佳伟创取得反应炉及具有该反应炉的镀膜设备专利,

发布时间:2024-03-31 11:11:18 点击量:

2024年3月28日消息,据国家知识产权局公告,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司取得一项名为“反应炉及具有该反应炉的镀膜设备“,授权公告号CN220665446U,申请日期为2023年6月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种反应炉及具有该反应炉的镀膜设备,反应炉,包括:炉单元,包括炉体、以及设置于炉体的端部的端盖,端盖设有装配孔;管单元,包括管件、SiC护套以及绝缘密封组件,管件穿设于炉体的内部、并穿设于装配孔且从炉体的内部伸出,SiC护套套设于管件外,且SiC护套穿设于炉体的内部、并穿设于装配孔且从炉体的内部伸出,SiC护套与炉单元相间隔,绝缘密封组件套接在SiC护套外、并位于炉体的外部,且绝缘密封组件与端盖连接、并密封装配孔。SiC护套的材质为SiC,在常温下,SiC的热导率约为120W/(m·K),导热更容易,更快;并且,SiC材质硬度强,承受能力强,在高温冷却的情况下,不易发生形变,不易碎,使用时间长,可靠性高。 

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